欧美日韩国产精品一区91国产免费网站|国产精品一亚洲av日韩av欧|国产麻豆91精品三级站|久久中文字幕人妻|中文字幕人妻av12|香蕉久久久久久av成人|91国语精品自产拍在线观看性色|91麻豆精品国产专区在线观看|国产果冻|吃瓜群众黑料,天美传媒tm0071,中文字幕欲求不满火辣的人妻,最近中文字幕高清中文字幕mv

當前位置：首頁>>科技資源>>先進制造
先進制造
SP－8A 濺射臺
 
技術特點：
  1.采用分子泵機組抽真空，真空度高,，無油污染,。
  2. 具有三個靶座，可同時濺射兩種金屬,，可形成多層復合膜或實現(xiàn)金屬共濺射,。
  3. 片子可旋轉，不僅可以提高均勻性,，而且可以降低片子上的溫度,，特別適合于用剝離（lift-off）技術制備各種難腐蝕金屬的亞微米圖形（如Au、Pt,、Ta,、超導材料等）。
  4. 用兩個質量流量計控制氣流量,，可實現(xiàn)氣體準確混合,，提高工藝重復性?？赏饨?種氣體（如Ar,、O2、N2等）,。
  5. 濺射時間可預置設定,，用數(shù)字定時器定時。
  6. 可加工Ф2-4英寸的片子,。由于采取了獨特的結構,，均勻性好是其突出的優(yōu)點。

主要指標：
  1. 射頻電源500W，頻率13.56Mhz,。直流電源2000W,，共兩種電源，功率可調,。帶匹配器和定時器,。
  2. 真空室直徑600mm，三個靶座,?？尚D載片架。
  3. 本地真空度優(yōu)于5X10-4Pa,。
  4. 采用1200升/秒分子泵及8升/秒機械泵組成的真空系統(tǒng),。
  5. 用碘鎢燈加熱，溫度設定可控,，數(shù)字顯示,。
  6. 均勻性誤差：±4%（4英寸內(nèi)）。

應用狀況：
    SP-8A型磁控濺射臺是一種經(jīng)長期實踐檢驗,、性能優(yōu)良的科研和生產(chǎn)兩用型設備,。它可用于各種金屬薄膜（如Au、Ag,、Pt,、W、Mo,、Ta,、Ti、Al,、Si,、ITO等）的淀積。
   
    可根據(jù)用戶具體要求協(xié)商調整配置,，可提供濺射工藝咨詢和提供上述剝離技術,。

    本機具有極高的性能/價格比，得到國內(nèi)科研單位及高校用戶的好評,。