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先進(jìn)制造
SE-3型太陽(yáng)能電池刻蝕機(jī)
 
技術(shù)特點(diǎn)：
  1.因鉆蝕引起的硅片邊緣損耗小（約1mm左右）,，有利于提高太陽(yáng)能電池片的效率；
  2.均勻性好，每批的一致性相當(dāng)好；
  3.刻蝕片量大,，每次可以超過500片；
  4.工藝過程自動(dòng)控制,。

主要指標(biāo)：
  1.平板式反應(yīng)室系統(tǒng)1套,，可放置125×125mm2以內(nèi)的各種電池片500片；
  2.射頻電源1套,，13.56 MHz，功率1000W,，帶正向功率和反射功率計(jì)指示,，帶自動(dòng)匹配器；
  3.西門子公司的可編程序控制器PLC 1套,；
  4.西門子公司的觸摸屏1套,，用于顯示和工藝操作；
  5.質(zhì)量流量計(jì)2個(gè),；氣路2路,。

應(yīng)用狀況：
目前，它已成為太陽(yáng)能電池和光電子領(lǐng)域科研和生產(chǎn)不可缺少的設(shè)備,。