成果簡介: 技術(shù)特點:采用泡生法工藝,生長周期短,,晶體質(zhì)量高,,產(chǎn)量大。 主要指標(biāo): 1) 泡生法生長的10英寸藍(lán)寶石晶體:Φ250mm,~28kg,; 2) 坩堝下降法生長的5英寸藍(lán)寶石晶體:Φ120mm,,~6kg。 應(yīng)用狀況: 藍(lán)寶石(Al2O3)晶體已經(jīng)成為現(xiàn)代工業(yè),,尤其是微電子及光電子產(chǎn)業(yè)極為重要的基礎(chǔ)材料,。目前,Al2O3晶體是唯一最實用,、已商品化的GaN基LED外延襯底材料,。 擁有的專利:200810200911.3 ,200920076795.9等
泡生法生長的10英寸藍(lán)寶石晶體 坩堝下降法生長的5英寸藍(lán)寶石晶體
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