技術(shù)特點：1. 提供完整的成套低成本圖形化襯底制備技術(shù)，有效提高GaN基發(fā)光二極管的出光率,。2. 提供自主研發(fā)的全自動國產(chǎn)化圖形襯底刻蝕系統(tǒng)，單次刻蝕襯底數(shù)>7片,。 3. 提供成套圖形化襯底制造工藝相關(guān)的低成本制造設(shè)備方案及工藝咨詢服務(wù),。 主要指標(biāo)： 1. 多種圖形化襯底結(jié)構(gòu)和配套工藝方案。 2. 刻蝕系統(tǒng)采用平面式感應(yīng)線圈結(jié)構(gòu),，有效提高刻蝕均勻性,。 3. 刻蝕系統(tǒng)的關(guān)鍵部件全部采用進(jìn)口的國際主流產(chǎn)品,，可實現(xiàn)7天24小時不間斷生產(chǎn),。包括：射頻電源（自動匹配）、耐腐蝕干泵,、磁懸浮分子泵,、壓力調(diào)節(jié)閥、質(zhì)量流量計等,。 4. 刻蝕系統(tǒng)采用觸摸屏控制,，工藝過程全自動，動畫實時顯示工藝過程的狀況和提示,。 5. 刻蝕系統(tǒng)的單次刻蝕襯底數(shù)可根據(jù)客戶需求和預(yù)算定制,，標(biāo)準(zhǔn)配置為7片，最大可選20片,。 應(yīng)用狀況： 基于氮化鎵材料的高亮度LED (HB-LED)是未來普通照明光源最為重要的技術(shù),，它的應(yīng)用領(lǐng)域包括照明、手機(jī),、顯示,、汽車、信號燈以及其他許多領(lǐng)域,。到 2011 年,，預(yù)計總的高亮度 LED 市場將輕松超過 25 億美元,。 圖形化藍(lán)寶石襯底技術(shù)（PSS）可有效減少氮化鎵外延層的外延缺陷，使外延層晶體質(zhì)量明顯提高,，有效提高氮化鎵基LED的光功率,。 
圖形化藍(lán)寶石襯底制備
|
