欧美日韩国产精品一区91国产免费网站|国产精品一亚洲av日韩av欧|国产麻豆91精品三级站|久久中文字幕人妻|中文字幕人妻av12|香蕉久久久久久av成人|91国语精品自产拍在线观看性色|91麻豆精品国产专区在线观看|国产果冻|吃瓜群众黑料,天美传媒tm0071,中文字幕欲求不满火辣的人妻,最近中文字幕高清中文字幕mv

當(dāng)前位置：首頁>>科技資源>>先進制造
先進制造
等離子體浸沒離子注入機

技術(shù)特點：
    等離子體浸沒離子注入技術(shù)是一項新的材料表面改性技術(shù)，其主要用于絕緣襯底上的硅（SOI）和超淺結(jié)（USL）的制造 ,。其與傳統(tǒng)束線離子注入相比有設(shè)備簡單,、成本低；可同時實現(xiàn)大面積注入,，摻雜效率高,；可實現(xiàn)三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)工件摻雜；摻雜能量無理論限制,，能實現(xiàn)超低能離子摻雜,。

主要指標：
  1. 注入結(jié)深：≤5nm @（100eV， ）,；
  2. 能量精度：±2%,；
  3. 注入劑量均勻性和重復(fù)性：±3%。

應(yīng)用狀況：
    用等離子體浸沒離子注入技術(shù)可獲得高均勻性的超淺結(jié),、黑硅等,。該技術(shù)目前已在COMS器件超淺結(jié)制造等半導(dǎo)體領(lǐng)域、太陽能電池光伏領(lǐng)域,、醫(yī)用骨頭改性等生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域等廣泛應(yīng)用,。

等離子注入制備的高效太陽能電池黑硅