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新材料
氧化鋅體單晶生長(zhǎng)技術(shù)


一,、項(xiàng)目概況

    作為第三代半導(dǎo)體的核心基礎(chǔ)材料之一的ZnO晶體既是一種寬禁帶半導(dǎo)體,,又是一種具有優(yōu)異光電性能和壓電性能的多功能晶體,。ZnO單晶作為一種寬帶半導(dǎo)體材料具有許多應(yīng)用潛力,如制作高效率蘭色,、紫外發(fā)光和探測(cè)器,、新型大功率微波器件等。中國(guó)科學(xué)院的科研人員研究掌握了一種生長(zhǎng)高質(zhì)量,、大尺寸ZnO單晶材料的新型技術(shù)方法-化學(xué)氣相傳輸法(CVT法),,而且采用CVT法已生長(zhǎng)出了直徑32毫米和直徑45毫米,4毫米厚的ZnO單晶,。

二,、技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)

    這種ZnO單晶材料的位錯(cuò)密度為200cm-2,,顯示了相當(dāng)好的材料質(zhì)量。與生長(zhǎng)ZnO單晶的其它方法相比,,采用閉管CVT法生長(zhǎng)ZnO單晶的突出優(yōu)點(diǎn)是生長(zhǎng)設(shè)備成本低,、生長(zhǎng)速度快、材料的質(zhì)量好,。此外,,整個(gè)生長(zhǎng)過(guò)程在封閉的石英管內(nèi)進(jìn)行,無(wú)需攜載氣體,,因而進(jìn)一步降低了材料的生長(zhǎng)成本,。這項(xiàng)技術(shù)的突破對(duì)于提供價(jià)格低、質(zhì)量好的ZnO單晶襯底材料,,滿(mǎn)足研制新型藍(lán)光,、紫外光器件的需求具有重要的意義。

三,、主要應(yīng)用范圍

    可用于超高密度光存儲(chǔ),、全色顯示、白光照明,、激光打印,、火焰?zhèn)鞲衅鳌⑽廴緳z測(cè)儀,、紫外光控制器,、紫外光譜儀、透明大功率電子器件和太陽(yáng)能電池的窗口材料等,。

四,、市場(chǎng)情況

    以10臺(tái)生長(zhǎng)爐每年可生長(zhǎng)800爐次,預(yù)計(jì)可生產(chǎn)2英寸直徑的ZnO單晶片3000片,。目前2英寸ZnO單晶片的價(jià)格估計(jì)為2-10萬(wàn)元/片,,因此,年產(chǎn)值至少可達(dá)6千萬(wàn)元,。

五,、合作方式:技術(shù)入股。