硅基氧化鋅單晶薄膜材料以及可見盲紫外探測器制造技術(shù)
成果簡介
該研究組經(jīng)過五年多的持續(xù)攻關(guān)研究,，獨創(chuàng)了一種低溫界面工程技術(shù),，在2英寸Si晶片上制備出高質(zhì)量的ZnO單晶薄膜,，其結(jié)晶性和光電性能等綜合指標(biāo)居國際領(lǐng)先水平；并進(jìn)一步設(shè)計和研制出新型n－ZnO/i-MgO/p-Si雙異質(zhì)結(jié)p-i-n紫外探測器,，實現(xiàn)了Si基ZnO可見盲紫外探測功能,。與市售的硅紫外光電探測器相比，該器件充分利用了寬帶隙ZnO卓越的光電性能,，紫外光響應(yīng)強,，并可直接在可見光背景下工作，不需要濾光系統(tǒng)來屏蔽可見光的響應(yīng),，因而具有結(jié)構(gòu)簡單,、性能優(yōu)越等優(yōu)點。相關(guān)核心技術(shù)已獲國家授權(quán)發(fā)明專利3項,，申請國際專利2項,。
擁有的專利：發(fā)明專利3項
預(yù)期轉(zhuǎn)化方式：技術(shù)轉(zhuǎn)讓，技術(shù)合作,，共同開發(fā),。
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