| 技術(shù)特點(diǎn)： 2008年以來(lái)，石油價(jià)格急劇上升,，對(duì)替代能源的要求越來(lái)越迫切,，其中之一是可持續(xù)發(fā)展的太陽(yáng)能能源，使用硅光伏組件將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換為電力最具競(jìng)爭(zhēng)力,。多晶硅是構(gòu)建太陽(yáng)能電池板最重要的組成部分,，但由于西門子法生產(chǎn)的多晶硅材料價(jià)格昂貴，污染嚴(yán)重,，一定程度上限制了光伏太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,。發(fā)展新的價(jià)格低廉、環(huán)境友好型的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)對(duì)于中國(guó)來(lái)說(shuō)需求十分迫切,。 本項(xiàng)目我們計(jì)劃開(kāi)發(fā)出的一種新的微波等離子體反應(yīng)器可在狹窄反應(yīng)區(qū)產(chǎn)生微波放電,，既能使氣體的反應(yīng)溫度提高到1500℃以上，又能大幅度增加反應(yīng)氣體的活性,，使得含硅氣體高效快速還原,，從而獲得純凈的多晶硅。 初步計(jì)算顯示,，1公斤多晶硅的制造成本（生產(chǎn)量按每月3000公斤計(jì)算）將不超過(guò)10美元,，當(dāng)前多晶硅的市場(chǎng)價(jià)格至少在$100/kg，而且仍然有很高的價(jià)格空間,。因此,，即使如上所述的小規(guī)模生產(chǎn)也能獲得每月$270,000的收入，每年可獲得300多萬(wàn)美元的收入,。若每月生產(chǎn)量增加到1萬(wàn)公斤,，有潛力使生產(chǎn)成本下降到每公斤6-7美元。 微波等離子體炬技術(shù)是該項(xiàng)目的關(guān)鍵技術(shù),，目前正在籌劃申報(bào)相關(guān)專利,，等離子體炬的設(shè)計(jì)工作也在進(jìn)行中。新研制的微波等離子體炬,，具有如下優(yōu)點(diǎn)： 1）穩(wěn)定的微波等離子射流,； 2）氣體來(lái)源廣泛，幾乎可用任何氣體產(chǎn)生等離子體放電（例如：空氣,，氧氣,，氬,，氫，氮,，甲烷,，硅烷以及上列氣體的各種組合）； 3）等離子體射流的大小為1-1.5立方分米,； 4）低價(jià)炬的設(shè)計(jì),。 主要指標(biāo)： 本項(xiàng)目具有如下技術(shù)優(yōu)勢(shì)： 1）降低功耗（超過(guò)10倍）； 2）由于是無(wú)極放電,，等離子體反應(yīng)局域化,，可以制備高純度的硅材料； 3）反應(yīng)和沉積速度快,，產(chǎn)量也相應(yīng)提高,； 4）擴(kuò)展了生產(chǎn)多晶硅的原材料； 5）大量地（幾倍）降低了氫的消耗,； 6）由于反應(yīng)溫度低和等離子體射流的局域化,，拓寬了構(gòu)造化學(xué)反應(yīng)室材料的選擇范圍； 7）該設(shè)備未來(lái)還可以用于生產(chǎn)其他氣相生成的材料,，如,，金剛石薄膜，金剛石納米粉,，碳化硅,、鈦粉，以及各種其他材料,。 應(yīng)用狀況： 目前在我國(guó)已有數(shù)十家西門子法生產(chǎn)多晶硅的廠家,，都被高能耗、高污染所困擾,，且面臨著倒閉的危險(xiǎn),，僅有數(shù)家企業(yè)靠國(guó)家政策扶持尚能生存。這種局面使多晶硅成本長(zhǎng)期居高不下,，嚴(yán)重地污染環(huán)境,，持續(xù)地延緩了太陽(yáng)能電池的快速推廣應(yīng)用，影響了我國(guó)低碳經(jīng)濟(jì)的進(jìn)程,。微波等離子體制備太陽(yáng)能級(jí)多晶硅技術(shù)一旦研制成功,，可解決生產(chǎn)太陽(yáng)能多晶硅高能耗和高污染的問(wèn)題，極大地促進(jìn)太陽(yáng)能電池的快速推廣應(yīng)用,，為實(shí)現(xiàn)低碳經(jīng)濟(jì),、發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì)創(chuàng)造條件。 該設(shè)備還可用于生產(chǎn)其他氣相生成的材料：金剛石薄膜,，金剛石納米粉,，碳化硅,、鈦粉，以及各種其他材料,。 本項(xiàng)目計(jì)劃引進(jìn)投資1000萬(wàn)人民幣,，進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化開(kāi)發(fā)。 |
