一、技術(shù)簡(jiǎn)介MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition）設(shè)備,，即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備,，是化合物半導(dǎo)體外延材料研究和生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，特別適合化合物半導(dǎo)體功能結(jié)構(gòu)材料的規(guī)?；I(yè)生產(chǎn),，是其它半導(dǎo)體設(shè)備所無(wú)法替代的核心半導(dǎo)體設(shè)備，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段,，是當(dāng)今信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、國(guó)防高新技術(shù)突破不可缺少的戰(zhàn)略性高技術(shù)半導(dǎo)體設(shè)備。該研究團(tuán)隊(duì)成功研制出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的可一次生長(zhǎng)3片2英寸外延片的研發(fā)型MOCVD設(shè)備樣機(jī),，實(shí)現(xiàn)了襯底機(jī)座的公轉(zhuǎn)/自傳獨(dú)立調(diào)節(jié),、具有低成本的新型原料配送結(jié)構(gòu)等功能，并生產(chǎn)出性能優(yōu)良的氮化鎵基材料,。目前具有新穎結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),、具有獨(dú)立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型6片型MOCVD系統(tǒng)原型機(jī)即將研制成功并投入使用，為國(guó)產(chǎn)化MOCVD設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),。 
7片2英寸GaN外延MOCVD設(shè)備樣機(jī)
二,、市場(chǎng)前景 據(jù)測(cè)算，當(dāng)前隨著MOCVD設(shè)備在半導(dǎo)體制造業(yè)中的廣泛應(yīng)用,，全世界每年對(duì)MOCVD設(shè)備約有300臺(tái)的市場(chǎng)需求,，其中GaN-MOCVD設(shè)備每年至少需求120臺(tái)。我國(guó)“十一五”期間約需新增LED芯片產(chǎn)能96億只/年,，需新增MOCVD設(shè)備至少50臺(tái)（按19片機(jī)規(guī)模）,，設(shè)備投入將達(dá)到8000- 10000萬(wàn)美元規(guī)模，甚至突破1億美元,。目前世界上MOCVD設(shè)備制造商主要有兩家：德國(guó)AIXTRON公司(英國(guó)THOMAS SWAN公司已被AIXTRON公司收購(gòu))和美國(guó) VEECO公司（并購(gòu)美國(guó)EMCORE公司）,。 目前國(guó)內(nèi)有外延和芯片生產(chǎn)企業(yè)20多家，這些企業(yè)已累計(jì)引進(jìn)30多臺(tái)MOCVD,，總投資在4000萬(wàn)美元左右,，主要購(gòu)買德國(guó) AIXTRON和美國(guó)EMCORE兩家供應(yīng)商的MOCVD設(shè)備，以6片和9片機(jī)型居多,，每臺(tái)設(shè)備的價(jià)格在100萬(wàn)美元左右,。近期已有企業(yè)開始引進(jìn)國(guó)外19片、21片或24片機(jī)型等先進(jìn)的MOCVD設(shè)備,。 三,、應(yīng)用領(lǐng)域 MOCVD設(shè)備作為氮化鎵、砷化鎵,、磷化銦等化合物半導(dǎo)體外延材料研究和生產(chǎn)的重要技術(shù)手段,，特別是作為工業(yè)化生產(chǎn)的設(shè)備，它的高質(zhì)量、穩(wěn)定性,、重復(fù)性及規(guī)?；瞧渌陌雽?dǎo)體材料生長(zhǎng)設(shè)備所無(wú)法替代的。它的高質(zhì)量,、穩(wěn)定性,、重復(fù)性及多功能性越來(lái)越為人們所重視。它是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段,，如激光器、探測(cè)器,、發(fā)光二極管,、高效太陽(yáng)能電池、光電陰極等光電子產(chǎn)業(yè)不可缺少的設(shè)備,。 四,、效益分析 制造一臺(tái)6片機(jī)型MOCVD系統(tǒng)，需材料費(fèi)440萬(wàn)元（關(guān)鍵部件采用進(jìn)口件）,，加工費(fèi)20萬(wàn)元,，勞務(wù)費(fèi)30萬(wàn)元，其它雜費(fèi)10萬(wàn)元,，成本共計(jì)500萬(wàn)元,。銷售按650萬(wàn)元/臺(tái)，稅前利潤(rùn)150萬(wàn)元,，每年暫按3臺(tái)的銷量,，稅前利潤(rùn)可達(dá)450萬(wàn)元。 MOCVD系統(tǒng)的銷量將會(huì)隨著產(chǎn)品信譽(yù)度的提高而增加,，由于本項(xiàng)目擁有MOCVD關(guān)鍵技術(shù)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),，該產(chǎn)品不僅可以在國(guó)內(nèi)銷售，還可以出口國(guó)際市場(chǎng),。 |
