| 項目簡介 本系統(tǒng)引入高壓脈沖輝光放電技術(shù),，將真空陰極弧和中頻磁控濺射等多種鍍膜技術(shù)相結(jié)合，可研究開發(fā)單層及多層功能膜,，如硬質(zhì)膜,、金屬膜、半導(dǎo)體膜,、介質(zhì)膜,、碳膜、鐵磁膜和磁性薄膜等新興薄膜材料,。TiN,、TiC、TiCN,、TiAIN等硬質(zhì)薄膜已經(jīng)在工具,、磨具、裝飾等行業(yè)得到日益廣泛的應(yīng)用,，類金剛石碳（DLC）膜是一種光滑致密,、高硬度、高電阻率,、高導(dǎo)熱率,、良好的紅外透過性、高化學(xué)穩(wěn)定性、低摩擦系數(shù)高耐磨性的新型超硬薄膜,，在機械,、電子、光學(xué)以及醫(yī)學(xué)等方面有廣闊的應(yīng)用前景,。 多功能復(fù)合離子鍍設(shè)備 功能：真空陰極弧離子鍍,、中頻磁控濺射離子鍍、高壓脈沖輝光放電 市場需求 機械行業(yè)——減震器,、燃料噴射泵,、齒輪、軸承,、綱領(lǐng),、活塞、活塞環(huán)等 加工行業(yè)——硬質(zhì)合金刀具,、精密模具,、精密加工用鋸等 生物醫(yī)用——血管支架、心臟瓣膜,、髖膝關(guān)節(jié),、外科手術(shù)用鋸等 光學(xué)行業(yè)應(yīng)用——紅外窗口、硅太陽能電池等 電子行業(yè)——硬盤,、磁頭,、光盤等存儲介質(zhì)、場發(fā)射顯示器等 |
