一,、項目概況
MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition）材料生長裝備，即金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備,，是化合物半導(dǎo)體外延材料研究和生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,，特別適合化物半導(dǎo)體功能結(jié)構(gòu)材料的規(guī)模化生產(chǎn),，是其它半導(dǎo)體設(shè)備所無法替代的核心半導(dǎo)體裝備,，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段，是當(dāng)今信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展,、國防高新技術(shù)突破不可缺少的戰(zhàn)略性高技術(shù)半導(dǎo)體設(shè)備。我國“十一五”期間約需新增LED芯片產(chǎn)能96億只/年,，需新增MOCVD設(shè)備至少50臺（按19片機規(guī)模）,，設(shè)備投入將達(dá)到8000- 10000萬美元規(guī)模，甚至突破1億美元,。
半導(dǎo)體所在國家“863”計劃等項目的支持下,，系統(tǒng)地開展了MOCVD生長室、原料輸運,、電路控制等方面的設(shè)計與技術(shù)研究工作,，成功研制出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的可一次生長3片2英寸外延片的研發(fā)型MOCVD設(shè)備樣機，實現(xiàn)了襯底機座的公轉(zhuǎn)/自傳獨立調(diào)節(jié),、具有低成本的新型原料配送結(jié)構(gòu)等功能,，并生產(chǎn)出性能優(yōu)良的氮化鎵基材料,。
目前具有新穎結(jié)構(gòu)設(shè)計、獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的新型6片型MOCVD系統(tǒng)原型機即將研制成功并投入使用,，為國產(chǎn)化MOCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ),。
二、項目意義
MOCVD設(shè)備作為氮化鎵,、砷化鎵,、磷化銦等化合物半導(dǎo)體外延材料研究和生產(chǎn)的重要技術(shù)手段，特別是作為工業(yè)化生產(chǎn)的設(shè)備,，它的高質(zhì)量,、穩(wěn)定性、重復(fù)性及規(guī)?；瞧渌陌雽?dǎo)體材料生長設(shè)備所無法替代的,，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段。
三,、主要應(yīng)用范圍
激光器,、探測器、發(fā)光二極管,、高效太陽能電池,、光電陰極等光電子產(chǎn)業(yè)。
四,、市場情況
目前國內(nèi)有外延和芯片生產(chǎn)企業(yè)20多家,，這些企業(yè)已累計引進(jìn)30多臺MOCVD，總投資在4000萬美元左右,，主要購買德國 AIXTRON和美國EMCORE兩家供應(yīng)商的MOCVD設(shè)備,，以6片和9片機型居多，每臺設(shè)備的價格在100萬美元左右,。
本項目每年按3臺的銷量,，利潤可達(dá)450萬元。MOCVD系統(tǒng)的銷量將會隨著產(chǎn)品信譽度的提高而增加,，由于本項目擁有MOCVD關(guān)鍵技術(shù)的自主知識產(chǎn)權(quán),，該產(chǎn)品不僅可以在國內(nèi)銷售，還可以出口國際市場,。
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