| 濺射離子泵（Sputter-ion pump）由于其清潔無油,、對多種氣體的抽氣能力、以及不怕震動和易于維護(hù),，是目前超高真空獲得系統(tǒng)中使用最廣泛的一種真空泵,，廣泛應(yīng)用于分析儀器、材料研究,、加速器,、光束線、儲存環(huán),、空間環(huán)境模擬,、鍍膜技術(shù)以及其它要求無污染的環(huán)境。濺射離子泵的工作原理是利用電磁場的作用產(chǎn)生潘寧放電,，使氣體分子電離,，利用電離產(chǎn)生的離子轟擊并濺射陰極板（鈦板），使電離了的氣體分子收附于其中或利用濺射的吸氣劑膜層（鈦膜）來抽氣,。 幾十年的濺射離子泵的發(fā)展過程中,，近十年來國外變化最大的是離子泵電源控制器，主要表現(xiàn)在采用高頻開關(guān)電源代替50Hz功頻電源,，以及電源的智能化和數(shù)字化,。 本產(chǎn)品按目前國際行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供了一種基于開關(guān)電源方式的智能濺射離子泵電源控制器（國家專利：00112595.8、00240529.6）,，全面使用開關(guān)電源替代過去的功頻電源,，重量輕、體積小,、輸入電壓范圍寬,、高效節(jié)能。 主要特點(diǎn)：體積小、重量輕,、智能化,，使用界面友好；RS232微機(jī)通訊接口,，便于聯(lián)網(wǎng)控制,；輸入電壓范圍寬，開關(guān)電源,，高效節(jié)能,；電磁兼容性及安全防護(hù)符合國際標(biāo)準(zhǔn)。 |
